Işık kaynağından yayılan ışık, ışın demeti ayırıcı (beam splitter) tarafından ikiye ayrılır. Bu ışınlardan biri hedeften, diğeri referans aynasından yansır. Daha sonra her iki ışın da ışık toplayıcı elemana parazite neden olan ışık dalgaları olarak çarpar. İşleme karışan bu ışık dalgaları, optik yollarının uzunlukları çakıştığında çok yüksek düzeyde parazite sebep olur. Optik bileşenlerin tümünü içeren optik ünite, zıt görüntüler elde edebilmek için yukarı ve aşağı hareket eder. Bu görüntülerdeki her ölçüm noktası için cihaz, optik ünitenin konumunu en yüksek parazit seviyesinde okur. Buna ek olarak, bu bilgi hedefe olan mesafenin belirlenebilmesi için de kullanılır.