Temaslı ölçüm probları malzemelerin dış yüzeylerine dokunarak, referans yüzey ile arasındaki mutlak farkları yüksek doğrulukla yapılmasını sağlar. Bu sayede mesafe, kalınlık, konum, yükseklik gibi temel ölçümlerin yanında düzlemsellik, form, fark, salgı, çap gibi temel ölçümlere göre daha karmaşık ölçümlerinde hızlı ve kolay elde edilmesini sağlar. Farklı hareket strokları ve pnömatik harekete sahip ölçüm probları kullanılarak maliyetli ölçüm cihazları veya sistemleri kullanmadan hassas ölçümlerin yapılmasını sağlar.